第１種特定有害物質（揮発性有機化合物）の土壌汚染状況調査では調査対象物質が検出されるか表層土壌での簡易な状況調査により汚染範囲を特定する。

これは調査対象土地を均等にメッシュ状に区画し、概ね表土から１ｍくらいの深さに穴を開け、土壌ガスを採取・分析する。その結果対象物質が検出されなかった場合には、汚染のおそれが無いと判断する。

対象物質が検出された箇所があった場合には、更なる詳細調査に進むことになる。